FSM-AFM應(yīng)用案例

◆ 材料科學(xué)：材料表面的觀測和研究，包括表面結(jié)構(gòu)、粗糙度、顆粒大小、缺陷等，主要有金屬、合金、薄膜、晶體、高分子材料等；
◆ 微電子：大規(guī)模集成電路（IC）的在線檢測，檢測IC表面微結(jié)構(gòu)的三維尺寸，研究IC的局域電特性等；
◆ 生物學(xué)：DNA、蛋白質(zhì)、細胞、病毒、生物大分子原位成像和研究等；
◆ 醫(yī)學(xué)：介觀操作的強有力的手段，其應(yīng)用領(lǐng)域涉及藥物、藥理、免疫、診斷及治療等學(xué)科；
◆ 物理學(xué)：探測物質(zhì)表面的電子結(jié)構(gòu)，研究電子與吸附原子的相互作用等；
◆ 化學(xué)：作為有效的原位探測工具，在原子級水平上研究表面化學(xué)反應(yīng)，同樣也可以觀測表面化學(xué)反應(yīng)的原子級變化；
◆ 半導(dǎo)體：芯片結(jié)構(gòu)，太陽能電池導(dǎo)電性，硬盤磁場結(jié)構(gòu)等；
◆ 基礎(chǔ)教育和科普：納米科技一門新興的學(xué)科已被越來越多高等院校列入基礎(chǔ)教學(xué)的內(nèi)容。